Verfahren zum Polieren eines Substrats mit einem Poliersystem enthaltend ein Leitfähiges Polymer

WO2004009718 Art A1 29. Januar 2004

Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004009718
Aktenzeichen: EP03732966
Anmeldetag: 19. Juni 2003
Veröffentlichung: 29. Januar 2004
Rechtsraum: WO
IPC: C09G1/00C09G1/02H01L21/30H01L21/31H01L21/32C09K3/00C09K3/14C09K3/16B24B37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cabot Microelectronics Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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