Fabrication of optical components using si, sige, sigec, and chemical endpoint detection

WO2004010166 Art A2 29. Januar 2004

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004010166
Aktenzeichen: EP03765427
Anmeldetag: 1. Mai 2003
Veröffentlichung: 29. Januar 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G02B1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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