Apparatus and method for non-destructive inspection on a patterned surface

WO2004011917 Art A1 5. Februar 2004

Anmelder: Applied Materials, Inc., Applied Materials Israel Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004011917
Aktenzeichen: EP03771687
Anmeldetag: 21. Juli 2003
Veröffentlichung: 5. Februar 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/95G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Applied Materials Israel Ltd.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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