Atmospheric Pressure Plasma Processing Reactor

WO2004012235 Art A2 5. Februar 2004

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004012235
Aktenzeichen: EP03748987
Anmeldetag: 29. Juli 2003
Veröffentlichung: 5. Februar 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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