Piezoelectric on semiconductor-on-insulator microelectromechanical resonators and methods of fabrication

WO2004013893 Art A2 12. Februar 2004

Anmelder: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004013893
Aktenzeichen: EP03767047
Anmeldetag: 31. Juli 2003
Veröffentlichung: 12. Februar 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

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Firma: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Georgia Tech Research Corporation

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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