Surface shape determining method and its device

WO2004015366 Art A1 19. Februar 2004

Anmelder: TORAY ENGINEERING CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2004015366
Aktenzeichen
EP02760609
Anmeldetag
9. August 2002
Veröffentlichung
19. Februar 2004
Rechtsraum
WO
IPC
G01B11/24G01B9/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TORAY ENGINEERING CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toray Engineering

Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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