Optische Komponente umfassend ein Material mit einem Nulldurchgang der Thermischer L Ngsausdehnung

WO2004015477 Art A1 19. Februar 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004015477
Aktenzeichen: EP03784004
Anmeldetag: 2. Juli 2003
Veröffentlichung: 19. Februar 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/18G03F7/20G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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