Method for manufacturing nonradiative dielectric waveguide and nonradiative dielectric waveguide

WO2004017455 Art A1 26. Februar 2004

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004017455
Aktenzeichen: EP03788104
Anmeldetag: 13. August 2003
Veröffentlichung: 26. Februar 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01P3/16H01P11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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