Mark position detection device, mark position detection method, superimposing measurement device, and superimposing measurement method

WO2004019389 Art A1 4. März 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004019389
Aktenzeichen: EP03792775
Anmeldetag: 21. August 2003
Veröffentlichung: 4. März 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F9/00G01B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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