Optimierverfahren F R ein Objektiv mit Fluorid-Kristall-Lins En sowie Objektiv mit Fluorid-Kristall-Linsen

WO2004023172 Art A1 18. März 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004023172
Aktenzeichen: EP03793736
Anmeldetag: 19. August 2003
Veröffentlichung: 18. März 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/30G02B13/14G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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