Probing method and probe

WO2004023548 Art A1 18. März 2004

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Suga, Tadatomo, Okumura, Katsuya, Itoh, Toshihiro, Kataoka, Kenichi 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004023548
Aktenzeichen: EP03794166
Anmeldetag: 1. September 2003
Veröffentlichung: 18. März 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Suga, Tadatomo
Okumura, Katsuya
Itoh, Toshihiro
Kataoka, Kenichi
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von