Process for production of fluoropolymers for resist

WO2004024787 Art A1 25. März 2004

Anmelder: DAIKIN INDUSTRIES, LTD., Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc., Araki, Takayuki, Ishikawa, Takuji, Koh, Meiten, Toriumi, Minoru 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2004024787
Aktenzeichen
EP03795387
Anmeldetag
11. September 2003
Veröffentlichung
25. März 2004
Rechtsraum
WO
IPC
C08F214/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc.
Araki, Takayuki
Ishikawa, Takuji
Koh, Meiten
Toriumi, Minoru
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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