Process for production of fluoropolymers for resist
WO2004024787
Art A1
25. März 2004
Anmelder: DAIKIN INDUSTRIES, LTD., Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc., Araki, Takayuki, Ishikawa, Takuji, Koh, Meiten, Toriumi, Minoru 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2004024787
- Aktenzeichen
- EP03795387
- Anmeldetag
- 11. September 2003
- Veröffentlichung
- 25. März 2004
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C08F214/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc.
Araki, Takayuki
Ishikawa, Takuji
Koh, Meiten
Toriumi, Minoru - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Daikin Industries
Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.
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