Binär Geblazetes Diffraktives Optisches Element

WO2004025335 Art A1 25. März 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004025335
Aktenzeichen: EP03747921
Anmeldetag: 21. August 2003
Veröffentlichung: 25. März 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/18G03F1/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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