Substraterwärmungsverfahren in einem Prozess mit Veränderbarer Temperatur unter Verwendung eines Festtemperaturhalter

WO2004025710 Art A2 25. März 2004

Anmelder: Axcelis Technologies Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004025710
Aktenzeichen: EP03752318
Anmeldetag: 10. September 2003
Veröffentlichung: 25. März 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00G03F7/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Axcelis Technologies Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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