Electron beam irradiation device, electron beam irradiation method, disc-like body manufacturing apparatus, and disc-like body manufacturing method

WO2004027520 Art A1 1. April 2004

Anmelder: TDK Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2004027520
Aktenzeichen
EP03797655
Anmeldetag
18. September 2003
Veröffentlichung
1. April 2004
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20G11B7/26G21K5/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TDK Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 TDK Corporation

TDK Corporation ist ein japanischer Hersteller elektronischer Bauteile, bekannt für Kondensatoren, Sensoren, Batterien und Magnetwerkstoffe.

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