Capacitive resonators and methods of fabrication

WO2004027796 Art A2 1. April 2004

Anmelder: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004027796
Aktenzeichen: EP03783049
Anmeldetag: 31. Juli 2003
Veröffentlichung: 1. April 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00H01L27/14G01P3/04H01P1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Georgia Tech Research Corporation

Die Georgia Tech Research Corporation ist die Einrichtung des Georgia Institute of Technology in den USA, die Forschungsverträge verwaltet und geistiges Eigentum der Universität lizenziert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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