Electrically-coupled micro-electro-mechanical filter systems and methods

WO2004027833 Art A2 1. April 2004

Anmelder: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004027833
Aktenzeichen: EP03759427
Anmeldetag: 23. September 2003
Veröffentlichung: 1. April 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Georgia Tech Research Corporation

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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