Method, composition and apparatus for tunable selectivity during chemical mechanical polishing of metallic structures
WO2004031455
Art A2
15. April 2004
Anmelder: THE UNIVERSITY OF FLORIDA RESEARCH FOUNDATION, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2004031455
- Aktenzeichen
- EP03770398
- Anmeldetag
- 26. September 2003
- Veröffentlichung
- 15. April 2004
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C25F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- THE UNIVERSITY OF FLORIDA RESEARCH FOUNDATION, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Florida Research Foundation
Non-profit-Organisation der University of Florida (USA) zur Verwaltung und Vermarktung von Forschungsergebnissen und Patenten der Universität.
1.662 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.