Micro-structure cooling device and use thereof

WO2004032231 Art A2 15. April 2004

Anmelder: MKS IP Association 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004032231
Aktenzeichen: EP03798922
Anmeldetag: 29. September 2003
Veröffentlichung: 15. April 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L23/473

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS IP Association
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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