Surface shape measuring apparatus and single-shaft driver for use therein

WO2004032313 Art A1 15. April 2004

Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004032313
Aktenzeichen: EP03748725
Anmeldetag: 6. Oktober 2003
Veröffentlichung: 15. April 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H02K41/03H02K41/02G01B7/00G01B21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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