Elektrodenkonfiguration zur Erhaltung von Kühl-Gas auf einer Elektrostatischen Wafer-Klammer

WO2004034461 Art A1 22. April 2004

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004034461
Aktenzeichen: EP03749581
Anmeldetag: 10. September 2003
Veröffentlichung: 22. April 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68H02N13/00H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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