Manufacturing methods and vacuum or hermetically packaged micromachined or mems devices formed thereby having substantially vertical feedthroughs
WO2004035461
Art A2
29. April 2004
Anmelder: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2004035461
- Aktenzeichen
- EP03774896
- Anmeldetag
- 20. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 29. April 2004
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B81B7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
The Regents of the University of Michigan
Leitungsgremium der University of Michigan in den USA, das als Patentanmelder für Erfindungen aus der universitären Forschung auftritt. Schwerpunkte sind Medizintechnik, Ingenieurwissenschaften und Life Sciences.
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