Optische Anordnung und Verfahren zur Bestimmung und Durchführung einer Deformation einer Optischen Oberfläche eines Optischen Elements Gehörend zu der Optischen Anordnung

WO2004036316 Art A1 29. April 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004036316
Aktenzeichen: EP02782908
Anmeldetag: 15. Oktober 2002
Veröffentlichung: 29. April 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F9/00G02B17/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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