System and method for determining a return-on-investment in a semiconductor or data storage fabrication facility

WO2004036477 Art A2 29. April 2004

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004036477
Aktenzeichen: EP03774862
Anmeldetag: 14. Oktober 2003
Veröffentlichung: 29. April 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G06F17/60

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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