Method for fabricating semiconductor device

WO2004036638 Art A1 29. April 2004

Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2004036638
Aktenzeichen
EP02788579
Anmeldetag
18. Oktober 2002
Veröffentlichung
29. April 2004
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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