Ceramics heater for semiconductor production system

WO2004038771 Art A1 6. Mai 2004

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004038771
Aktenzeichen: EP03712821
Anmeldetag: 20. März 2003
Veröffentlichung: 6. Mai 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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