Semiconductor manufacturing facility and process systems utilizing exhaust recirculation

WO2004041415 Art A1 21. Mai 2004

Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004041415
Aktenzeichen: EP03777803
Anmeldetag: 22. Oktober 2003
Veröffentlichung: 21. Mai 2004
Rechtsraum: WO
IPC: B01D53/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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