Positive tone lithography with carbon dioxide development systems

WO2004044652 Art A2 27. Mai 2004

Anmelder: UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA AT CHAPEL HILL 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004044652
Aktenzeichen: EP03786658
Anmeldetag: 31. Oktober 2003
Veröffentlichung: 27. Mai 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/26G03F7/30G03F7/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA AT CHAPEL HILL
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of North Carolina at Chapel Hill

US-amerikanische öffentliche Universität in North Carolina, eine der ältesten staatlichen Hochschulen der USA mit umfangreicher Forschung unter anderem in Medizin und Naturwissenschaften.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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