Aligning method and aligning device in proximity exposure

WO2004044966 Art A1 27. Mai 2004

Anmelder: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004044966
Aktenzeichen: EP03811063
Anmeldetag: 26. September 2003
Veröffentlichung: 27. Mai 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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