Synthetic quartz glass member and ultraviolet exposure apparatus using same

WO2004046056 Art A1 3. Juni 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004046056
Aktenzeichen: EP03774088
Anmeldetag: 20. November 2003
Veröffentlichung: 3. Juni 2004
Rechtsraum: WO
IPC: C03C3/06C03B20/00G02B1/02// C03B8:04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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