Verfahren, System und Mittel zur Steuerung eines Herstellungsprozesses mit Multivariablen Eingangsparametern

WO2004046835 Art A2 3. Juni 2004

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004046835
Aktenzeichen: EP03783517
Anmeldetag: 14. November 2003
Veröffentlichung: 3. Juni 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G05B23/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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