Cleaning sheet and method for cleaning substrate processing apparatus

WO2004048008 Art A1 10. Juni 2004

Anmelder: NITTO DENKO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004048008
Aktenzeichen: EP03811889
Anmeldetag: 10. November 2003
Veröffentlichung: 10. Juni 2004
Rechtsraum: WO
IPC: B08B1/00H01L21/304G02F1/13H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NITTO DENKO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nitto Denko

Japanisches Materialwissenschafts- und Chemieunternehmen mit Sitz in Osaka. Nitto Denko entwickelt Klebebänder, Folien, optische Materialien für Displays sowie Membranen und Materialien für Elektronik, Automobil und Medizintechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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