Gas-expanded liquids, methods of use thereof, and systems using gas-expanded liquids for cleaning integrated circuits

WO2004049062 Art A2 10. Juni 2004

Anmelder: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004049062
Aktenzeichen: EP03789935
Anmeldetag: 21. November 2003
Veröffentlichung: 10. Juni 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Georgia Tech Research Corporation

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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