Micromachines for delivering precursors and gases for film deposition

WO2004050938 Art A2 17. Juni 2004

Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004050938
Aktenzeichen: EP03810041
Anmeldetag: 18. August 2003
Veröffentlichung: 17. Juni 2004
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Micron Technology, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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