Ruthenium compound and process for producing metallic ruthenium film

WO2004050947 Art A1 17. Juni 2004

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004050947
Aktenzeichen: EP03753935
Anmeldetag: 17. September 2003
Veröffentlichung: 17. Juni 2004
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/18C07C11/12C07C13/263C07C53/124C07C53/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

1.781 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von