Schutzbeschichtung für Reflektive Optische Elemente, Reflektive Optische Elemente und Herstellung von Diesen

WO2004053540 Art A1 24. Juni 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004053540
Aktenzeichen: EP03782303
Anmeldetag: 4. Dezember 2003
Veröffentlichung: 24. Juni 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G21K1/06G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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