Reinigung einer Metalloberfläche durch Trockenätzen
WO2004053978
Art A1
24. Juni 2004
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2004053978
- Aktenzeichen
- EP02798326
- Anmeldetag
- 10. Dezember 2002
- Veröffentlichung
- 24. Juni 2004
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/768H01L21/306
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Zimmermann, Gerd Heinrich
München, Deutschland
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