Light-emitting device, manufacturing apparatus, film-forming method, and cleaning method

WO2004054325 Art A1 24. Juni 2004

Anmelder: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2004054325
Aktenzeichen
EP03777306
Anmeldetag
5. Dezember 2003
Veröffentlichung
24. Juni 2004
Rechtsraum
WO
IPC
H05B33/14H05B33/22H05B33/10C23C14/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Semiconductor Energy Laboratory

Japanisches Forschungsunternehmen mit Sitz in Atsugi. Semiconductor Energy Laboratory (SEL) forscht an Halbleitertechnologien, Flüssigkristall- und OLED-Displays sowie Dünnschichttransistoren.

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