Beschichtetes Optisches Element mit Korrektur durch Erzeugung einer Schichtdickenvariation oder Brechzahlvariation in der Beschichtung

WO2004057378 Art A1 8. Juli 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004057378
Aktenzeichen: EP03782452
Anmeldetag: 18. Dezember 2003
Veröffentlichung: 8. Juli 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G02B1/10G03F7/20G02B3/04C23C14/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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