Diamond film-forming silicon and its manufacturing method

WO2004059047 Art A1 15. Juli 2004

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004059047
Aktenzeichen: EP03768144
Anmeldetag: 24. Dezember 2003
Veröffentlichung: 15. Juli 2004
Rechtsraum: WO
IPC: C30B29/04C30B29/06C23C16/27

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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