Monitoring erosion of system components by optical emission

WO2004061429 Art A1 22. Juli 2004

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004061429
Aktenzeichen: EP03814683
Anmeldetag: 24. Dezember 2003
Veröffentlichung: 22. Juli 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/00G01J3/443

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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