Method and system for optical inspection of patterned and non-patterned objects

WO2004061440 Art A1 22. Juli 2004

Anmelder: Applied Materials Israel Ltd., Applied Materials, Inc. 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004061440
Aktenzeichen: EP03814627
Anmeldetag: 17. November 2003
Veröffentlichung: 22. Juli 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956G01N21/21G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials Israel Ltd.
Applied Materials, Inc.
Land: 🇮🇱 Israel

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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