Low Power Plasma Generator

WO2004062326 Art A2 22. Juli 2004

Anmelder: NORTHEASTERN UNIVERSITY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004062326
Aktenzeichen: EP03808530
Anmeldetag: 22. Dezember 2003
Veröffentlichung: 22. Juli 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01J7/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NORTHEASTERN UNIVERSITY
Land: 🇺🇸 USA

🇨🇳 Northeastern University

Die Northeastern University (chinesisch Dongbei Daxue) ist eine staatliche Universität in Shenyang, China, mit Schwerpunkten in Ingenieurwissenschaften, Werkstofftechnik und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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