Methode und Vorrichtung zum Reinigen eines Analysegerätes Während des Betriebs

WO2004062824 Art A1 29. Juli 2004

Anmelder: Applied Materials Israel Ltd., Applied Materials, Inc. 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004062824
Aktenzeichen: EP03749762
Anmeldetag: 16. September 2003
Veröffentlichung: 29. Juli 2004
Rechtsraum: WO
IPC: B08B7/00H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials Israel Ltd.
Applied Materials, Inc.
Land: 🇮🇱 Israel

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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