Composition and method used for chemical mechanical planarization of metals

WO2004063301 Art A1 29. Juli 2004

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004063301
Aktenzeichen: EP03815248
Anmeldetag: 29. Dezember 2003
Veröffentlichung: 29. Juli 2004
Rechtsraum: WO
IPC: C09G1/02C09K3/14H01L21/321H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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