Optical device, monitor device, inverse dispersion double spectroscope, and method for controlling inverse dispersion double spectroscope

WO2004063684 Art A1 29. Juli 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004063684
Aktenzeichen: EP03786387
Anmeldetag: 26. Dezember 2003
Veröffentlichung: 29. Juli 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G01J3/18G02B6/293H04B10/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik

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