Defect detector and defect detecting method

WO2004063734 Art A1 29. Juli 2004

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation, Hitachi, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004063734
Aktenzeichen: EP03815142
Anmeldetag: 27. November 2003
Veröffentlichung: 29. Juli 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi High-Technologies Corporation
Hitachi, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

3.840 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

16.329 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von