Behandlung von Abgasen aus einer Substratbearbeitungskammer

WO2004064983 Art A1 5. August 2004

Anmelder: Applied Materials, Inc., BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE, APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004064983
Aktenzeichen: EP03713240
Anmeldetag: 13. Januar 2003
Veröffentlichung: 5. August 2004
Rechtsraum: WO
IPC: B01D53/32B01D53/75

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
BATTELLE MEMORIAL INSTITUTE
APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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🇺🇸 Battelle Memorial Institute

Gemeinnützige US-amerikanische Forschungsorganisation mit Sitz in Columbus, Ohio, die angewandte Forschung und Entwicklung in Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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