Piezo-Linearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktuatoren

WO2004066405 Art A1 5. August 2004

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2004066405
Aktenzeichen
EP04701913
Anmeldetag
14. Januar 2004
Veröffentlichung
5. August 2004
Rechtsraum
WO
IPC
H01L41/09H02N2/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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