Piezo-Linearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktuatoren
WO2004066405
Art A1
5. August 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2004066405
- Aktenzeichen
- EP04701913
- Anmeldetag
- 14. Januar 2004
- Veröffentlichung
- 5. August 2004
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L41/09H02N2/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
361
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