Verfahren zur Bestimmung von Strukturparametern einer Oberfläche

WO2004068070 Art A1 12. August 2004

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004068070
Aktenzeichen: EP03808251
Anmeldetag: 23. Dezember 2003
Veröffentlichung: 12. August 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/02G01F11/06H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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